擴(kuò)散/氧化/退火上下料機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn)

最高產(chǎn)能可達(dá)到16000pcs/h

可根據(jù)客戶需求進(jìn)行配置

特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒，陶瓷側(cè)齒，減少硅片劃傷，保證設(shè)備的穩(wěn)定性

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)相關(guān)參數(shù)
產(chǎn)能8000/11000/16000 pcs/h
石英舟規(guī)格 1000/1200/1600槽 ，節(jié)距2.38mm
硅片尺寸 166mm-210mm
適用花籃100 cassette
碎片率≤0.03%
開機(jī)率≥98%
耗氣量1000L/min
具體參數(shù)如有變動，本公司不另行通知！
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